氣體質量流量計（Mass Flow Meter，以下簡稱MFM）可對氣體的質量流量進行精密測量。

產品型號：WGL-5180

更新時間：2025-03-18

廠商性質：生產廠家

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WGL-5180是熱式質量流量計。氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller，以下簡稱MFC）可對氣體的質量流量進行精密測量和控制；氣體質量流量計（Mass Flow Meter，以下簡稱MFM）可對氣體的質量流量進行精密測量。

應用領域：中流量，適用于材料科學、納米傳感器、環境科學及催化評價等研究。

產品特點（優勢）：

本產品具有穩定可靠、響應時間短、標定精度和重復精度高等優點，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數字信號轉換器（AD/DA轉換器）配合計算機使用。

主要技術參數	基本型號	WGL-5180	WGL-5180M
	流量規格①(N2標定)	0～10,50,100,500 SCCM 0～15,20,25,30 SLM
	調節閥類型	常閉式	無
	量程比	(2~100)%F.S.或50:1
	流量分辨率	0.1%F.S.
	準確度	±1％F.S. (≤15SLM) ±2％F.S. (＞15SLM)
	重復精度	±0.2%F.S.
	響應時間	≤2sec	≤1sec
	工作壓差范圍	0.05～0.3MPa （<2SLM） 0.1～0.3MPa （2SLM-10SLM） 0.15～0.3MPa（>10SLM）	＜2MPa
	最大耐壓	2MPa
	工作環境溫度	5~45°℃
	電纜接頭	DB15pin(針形)
	輸入輸出信號	0～+5.00V（輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)	0～+5.00V（無輸入信號，輸出電流不大于3mA)
	供電電源要求	+15VDC(50mA)，-15VDC(200mA)	+15VDC(50mA),-15VDC(50mA)
	對外單點泄漏率	≤1×10-8Pa·m3/S(He)
	介質接觸材質	316，316L，密封填料
	密封材料	氯丁橡膠CR,氟橡膠 FKM
	管道接頭尺寸	VCR型接頭：1/4" 雙卡套型接頭：1/4"、3/8"或φ6、φ10 mm 內螺紋：9/16-18UNF內螺紋（深度＜8mm）
	凈重量	1.00kg	0.8kg
注1；滿量程流量不限于表中列出的流量規格,可以在20SLM~30SLM范圍內任選,例如23SLM。